1、預荷電集塵
　　利用極不均勻電場，或形成電暈放電，產生等離子體，其中包含的大量電子和正負離子在電場梯度的作用下，與空氣中的顆粒污染物發生非彈性碰撞，從而附著在上面，使之成為荷電離子，在外加電場力的作用下，被集塵極所收集。
　　其處理過程分三個階段：1)e+M(污染物分子)——M-；2)M-+SP(固體顆粒)——(SPM)-；3)(SPM)-——SPM(沉積在集塵極上)。靜電集塵是一個物理過程，在這個過程中，對懸浮在空氣中直徑小于100μm的總懸浮顆粒(TSP)和直徑小于μm的可吸人顆粒(PM10)有較高的清除效率。
　　2、等離子化學反應
　　通過前沿陡峭、窄脈寬的高頻高壓脈沖電暈流光放電，在常溫常壓下獲得非熱等離子體，利用等離子體中的大量活性粒子對有毒、有害、難降解的污染物進行直接的分解去除。
　　通過兩個途徑實現：一是在高能電子的瞬時高能量作用下，打開某些有害氣體分子的化學鍵，使其直接分解成單質原子或無害分子；二是在大量高能電子、離子、激發態粒子和氧自由基、氫氧自由基(自由基因帶有不成對電子而具有很強的活性)等作用下，氧化分解成無害產物。

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